光刻機(jī)之所以能在小小的芯片上進(jìn)行雕刻,這主要得益于它有一把鋒利的“刀”。來(lái)自技術(shù)裝備展區(qū)的“老朋友”德國(guó)通快,是全球唯一的一家能夠供應(yīng)極紫外光刻機(jī)光源的廠商,在今年進(jìn)博會(huì)上,德國(guó)通快就帶來(lái)了極紫外(EUV)光刻機(jī)種子光模型,可以做到的“雕刻精度”在7nm以下,比一根頭發(fā)的萬(wàn)分之一還要細(xì)。這也是該項(xiàng)技術(shù)的亞洲首秀。
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